200mm半導(dǎo)體檢查顯微鏡/300mm晶圓FPD檢查顯微鏡
? 大型載物臺搭載: 可用于400×300mm液晶基板, 300mm晶圓檢查(MX61L)
? 采用高NA的透射光聚光鏡, 圖像更銳利
? 多種觀察方式多種照明方式多種附件以滿足不同應(yīng)用要求
? 透射和反射照明可同時使用, 極大提高液晶基板觀察效果