蘇州雷克斯光電科技有限公司--LUXOPTO
? 緊湊的設計實現最小的占地空間
? 鏡臂部分和鏡體分開, 使高的樣品觀察成為可能
? 標配158×158mm手動移動載物臺(最大可用于200mm晶圓檢查)
? 選配長工作距離物鏡, 極大方便磁頭檢查
? 采用防靜電設計，極大方便磁頭檢查
? 提高系統靈活性和操作舒適性，滿足SEMI S2/S8標準
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光學系統 |
UIS2光學系統（無限遠校正光學系統） | ||
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顯微鏡鏡體 |
Z軸同軸粗微調調焦，載物臺行程范圍：32 mm（從焦面上行2 mm和下行30 mm） 行程相同：15 mm（配合透射光照明） Z軸微調焦每旋轉一周的行程0.1 mm（1個單位1 μm） 調焦機構張力可調 有調焦上限位機構 | ||
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照明系統 |
BX-KMA 明視場照明器 |
BX-RLA2 明視場/暗視場照明器 | |
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觀察方式轉換 |
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明視場-暗視場滑塊轉換法 | |
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可適用觀測模式 |
①明視場法 ②DIC微分干涉襯比法 ③偏振光照明法 |
①明視場法 ②暗視場法 ③DIC微分干涉襯比法 ④偏振光照明法 ⑤紅外光 | |
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光源 |
6V30W瓦鹵素燈 燈座: U-LS30-4 變壓器: TL-4 |
12V100W瓦鹵素燈 燈座: U-LH100L-3 電源整合在MX51顯微鏡中 | |
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透射照明 |
明視場MX-TILLK照明燈，配備光纖照明附件（MX-TILLK須與MX-SIC6R2配合使用） | ||
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觀察鏡筒 |
U-BI30-2 寬場雙目鏡筒， U-TR30-2 寬場三目鏡筒， U-ETR3 寬場正像三目鏡筒(F.N. 22)，U-SWTR 超寬場三目鏡筒，MX-SWETTR 超寬場正像傾斜式三目鏡筒(F.N. 26.5) | ||
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物鏡換鏡轉盤 |
U-5RE-2, U-6RE U-D5BDRE, U-D6BDRE, U-P5BDRE (帶有微粉干涉襯比法棱鏡滑槽) | ||
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載物臺 |
U-SIC4R2/SIC4L2同軸右/左手控制4英寸×4英寸載物臺 MX-SIC6R2同軸右/左手控制6英寸×6英寸載物臺 | ||
